产品别名 |
镀膜机,光学机,电镀机,蒸发机 |
面向地区 |
品牌 |
日本光驰 |
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新旧程度 |
9成新 |
设备名称 | OTFC-1550CBI/DBI |
真空室 | SUS304, φ1550mm×1800mm (H) |
工件架 | φ1400mm |
工件架转速 | 10rpm to 30rpm(可变) |
光学膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪 |
水晶式膜厚计 | XTC/3+6点式水晶传感器 |
蒸发源 | 电子枪2套 |
离子源 | 425pxRF离子源 |
排气系统 | 机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵) |
达到压力 | 7.0×10-5 Pa 以下 |
排气时间 | 15分(大气压~1.3×10-3 Pa) |
基板温度 | 高:350℃ |
设备尺寸 | 约5500mm(W)×7200mm(D)×3700mm(H) |
电源 | 3相,200v,50/60Hz, 约120KVA |
水流量 | 180升/分以上 |
空气压力 | 0.5MPa以上 |
重量 | 约10000kg |
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公司有多种进口品牌真空电镀膜机(日本光弛OTFC-1300/1550/1800,龙翩1400/1650/2050,韩一1200/1600/2050)出售租凭卖买业务